Siliziumbauteile ermöglichen die Funktion von einstellbaren Pinholes in Laserscanningmikroskopen. Im Fertigungsprozess werden die Eigenschaften des Siliziumeinkristalls eingesetzt, um atomar scharfkantige Blendenöffnungen zu erzeugen.
Mit Hilfe von Fotolithografie und speziellen Ätztechniken wird die gewünschte Geometrie erreicht, die auf Grundlage der Orientierungsrichtung des Einkristalls eingestellt wird. Auf diese Weise werden im Strahlengang Beugungseffekte und Lichtverluste minimiert.
Zudem ist die Eliminierung von Streulicht möglich. Für diesen Zweck werden zusätzliche Absorbtions- oder Antireflexschichten aufgebracht, die an die Wellenlängenbereiche und Einfallswinkel des Lichts anpassen lassen.
Die Supracon AG fertigt kundenspezifische Siliziumbauteile und kann in Fragen spezieller Schichtsysteme auf das Know How spezialisierter Kooperationspartner zurückgreifen.